聚焦离子束分析(fib)-j9九游会登录入口


先进材料表征方法

 

聚焦离子束分析(fib) 俄歇电子能谱分析(aes)
动态二次离子质谱分析(d-sims) 飞行时间二次离子质谱分析(tof-sims)

 

表面元素分析

 

1、聚焦离子束技术(fib)

聚焦离子束技术(focused ion beam,fib)是利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的离子束轰击材料表面,实现材料的剥离、沉积、注入、切割和改性。随着纳米科技的发展,纳米尺度制造业发展迅速,而纳米加工就是纳米制造业的核心部分,纳米加工的代表性方法就是聚焦离子束。近年来发展起来的聚焦离子束技术(fib)利用高强度聚焦离子束对材料进行纳米加工,配合扫描电镜(sem)等高倍数电子显微镜实时观察,成为了纳米级分析、制造的主要方法。目前已广泛应用于半导体集成电路修改、离子注入、切割和故障分析等。

 

2. 聚焦离子束技术(fib)可为客户解决的产品质量问题

(1)在ic生产工艺中,发现微区电路蚀刻有错误,可利用fib的切割,断开原来的电路,再使用定区域喷金,搭接到其他电路上,实现电路修改,最高精度可达5nm。

(2)产品表面存在微纳米级缺陷,如异物、腐蚀、氧化等问题,需观察缺陷与基材的界面情况,利用fib就可以准确定位切割,制备缺陷位置截面样品,再利用sem观察界面情况。

(3)微米级尺寸的样品,经过表面处理形成薄膜,需要观察薄膜的结构、与基材的结合程度,可利用fib切割制样,再使用sem观察。

 

3. 聚焦离子束技术(fib)注意事项

(1)样品大小5×5×1cm,当样品过大需切割取样。

(2)样品需导电,不导电样品必须能喷金增加导电性。

(3)切割深度必须小于50微米。

 

4.应用实例

(1)微米级缺陷样品截面制备

聚焦离子束分析

 

(2)pcb电路断裂位置,利用离子成像观察铜箔金相。

聚焦离子束分析

 

 



  • 联系j9九游会登录入口
  • 深圳美信总部

    热线:400-850-4050

    邮箱:marketing@mttlab.com

     

    苏州美信

    热线:400-118-1002

    邮箱:marketing@mttlab.com

     

    北京美信

    热线:400-850-4050

    邮箱:marketing@mttlab.com

     

    东莞美信

    热线:400-850-4050

    邮箱:marketing@mttlab.com

     

    广州美信

    热线:400-850-4050

    邮箱:marketing@mttlab.com

     

    柳州美信

    热线:400-850-4050

    邮箱:marketing@mttlab.com

     

    宁波美信

    热线:400-850-4050

    邮箱:marketing@mttlab.com

     

    西安美信

    热线:400-850-4050

    邮箱:marketing@mttlab.com

| 网站地图

j9九游会真人游戏第一品牌的友情链接: j9九游会登录入口-j9九游会真人游戏第一品牌 | | | | |

深圳市美信检测技术股份有限公司-第三方材料检测 j9九游会真人游戏第一品牌的版权所有  

"));
网站地图