俄歇电子能谱仪（aes）分析方法介绍 >> 测试项目案例-j9九游会登录入口

1.俄歇电子能谱仪（aes）

俄歇电子能谱仪（auger electron spectroscopy，aes），作为一种最广泛使用的表面分析方法而显露头角,通过检测俄歇电子信号进行分析样品表面，是一种极表面（0-3nm）分析设备。这种方法的优点是：在靠近表面5-20埃范围内化学分析的灵敏度高，很高的空间分辨率，最小可达到6nm；能探测周期表上he以后的所有元素及元素分布；通过成分变化测量超薄膜厚。它可以用于许多领域，如半导体技术、冶金、催化、矿物加工和晶体生长等方面。